文章出处:常见问题责任编辑:东莞市鑫海森不锈钢制品有限公司 发表时间:2025-05-28
一、侧蚀率定义与影响?
计算公式?:侧蚀率 F=A/HF=A/H(A为侧蚀量,H为蚀刻深度),直接影响码道宽度精度。
典型值?:精密码盘要求侧蚀率<10%,高精度应用需<5%。
二、控制侧蚀率的核心措施?
1、蚀刻液优化?
成分选择?:采用氯化铜-氨水-过氧化氢体系(PH 8.2±0.1),相比FeCl?可降低侧蚀率30%。
温度控制?:保持40~50℃(铜材)或20~30℃(不锈钢),温度每升高10℃,侧蚀率增加15%。
2、工艺参数调整?
喷淋方式?:下喷式优于上喷,溶液交换速率快,侧蚀量减少20%~40%。
时间控制?:动态监测蚀刻深度,达到目标后立即终止(如铜箔1μm/30秒)。
3、掩膜技术?
抗蚀膜升级?:使用APR-7300干膜(厚度12μm),抗化学渗透性提升40%,减少侧蚀扩散。
硬烘工艺?:120℃后烘增强掩膜附着力,降低边缘剥离风险。
三、设备与监控改进?
喷淋均匀性?:喷嘴摆动+压力分区调节(板边缘压力降低10%~15%),改善蚀刻均匀性。
实时反馈系统?:氧化还原电位(ORP)监测蚀刻液活性,自动补充有效成分。
四、特殊材料处理?
薄铜箔(≤1/2盎司)?:降低喷淋压力至0.8~1.2MPa,避免机械损伤加剧侧蚀。
不锈钢码盘?:添加缓蚀剂(如苯并三氮唑),抑制横向腐蚀。
五、效果验证?
通过上述措施,某案例显示:
侧蚀率从12%降至4.5%,码道宽度误差从±0.015mm缩小至±0.006mm